1. Form, küçük ölçekli ve düşük dereceli temiz oda atölyelerinin tasarımında yaygın olarak kullanılmaktadır. Yüksek kaliteli temiz atölyelerin bulunduğu geniş alanlar için işletme maliyeti çok yüksektir.alan çok büyük ve diğer eksiklikler.
2.Formun tasarımı, entegre devre imalatında geniş alan ve yüksek düzeyde tozsuz atölye gereksinimlerini karşılayabilir, ancak işletme maliyeti yüksektir ve temiz odanın rüzgar hızı ve hava hacminin ayarlanması zordur ve Sistemin yükseltilmesi ve dönüştürülmesi zordur, dolayısıyla çalışma esnekliği özellikle yüksek değildir.
3.Kafa sirkülasyon sistemi sadece çalışma alanından, temizlikten, yüksek güvenlikten, düşük işletme maliyetinden ve yüksek çalışma esnekliğinden tasarruf etmekle kalmaz, sistem yükseltme ve ayarlama için herhangi bir zamanda üretim durumunu etkilemez, yarı iletken üretim ihtiyaçlarını iyi karşılayabilir bu nedenle yarı iletken üretiminde kafa sirkülasyon sistemi yavaş yavaş ana arıtma tasarım şeması haline gelir